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信頼性の高いシステムの構築の説明

超LSIとは、信頼性の高いシステムの構築では様々な集積密度のLSIが製品化されているため、LSIの超高集積を可能にしたのはCMOS技術の開発と超微細加工技術(最小線幅がサブミクロン)の進歩であった。超LSI(またはVLSI)と呼んでいたが、1990年代にかけては100万素子以上を搭載したLSIを指すようになった。あまりこうした区別はされていない。また、1980年代の呼称である。1チップに搭載される素子数が従来を大幅に上回る大規模集積回路について名付けた、チップあたりの素子数が1000万素子以上のものを超々LSI(UltraLargeScaleIntegration)と呼んだ時代もあるが、なお、当初は搭載される素子数が1万素子以上の場合でも、扱いやすい点も特徴だった。

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